在線式專用氣體過濾器|半導體超純大流量氣體過濾器
0F系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計，過濾精度高達0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強度高，與多種半導體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應及超高純度氣棒，在半導體、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。
產(chǎn)品特點
1，整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
2，適合高溫應用
3，超高顆粒攔截率
4，高流量、高強度、穩(wěn)定可靠
5，適用于多種工藝氣體
6，可選其它點位在線安裝，方便快捷
7，100%完整性測試
8，100%氨氣檢漏測試
產(chǎn)品參數(shù)
| 濾芯材質(zhì) | 316L不銹鋼粉末燒結(jié) | 殼體材質(zhì) | 316L不銹鋼 | ||
| 最大進氣壓力 | 207bar | 最大工作壓差 | 5.2bar | ||
| 氦氣驗證泄漏率 | 2×10-10cc/min | 氦氣測試泄露率 | 1×10-10cc/min | ||
| 表面處理 | 外表面 | Ra < 1.6μm | 最高使用溫度 | 惰性氣體 | 400-500*C |
| 內(nèi)表面 | Ra < 0.2μm | 腐蝕性氣體，反應氣體 | 50°C | ||
| 顆粒攔截效率 | ≥99.9999999%(9LRV)@30slpm | 下游潔凈度 | ≥0.03particles/liter @>0.01um，30slpm |
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| 顆粒攔截粒徑 | ≧0.003μm | ||||
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